當的電壓達到氣體的點火電壓時，氣體被分解成包括電子、各種離子、原子和基在內的混合物。在放電過程中，雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個系統呈現出低溫狀態，即低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是使用這些高能電子、基等活性粒子和廢氣中污染物的作用,使污染物在極短的時間分解,和各種各樣的后續反應達到污染物降解的目的。

　　等離子體凈化器設備由電源和齒輪板放電裝置組成，能產生高強度、高濃度、高能量的活性基。在毫秒的時間內，它可以瞬間對有害廢氣進行氧化還原反應，將廢氣中的***部分污染物降解為二氧化碳、水和易處理的物質。